北京華林嘉業科技有限公司

硅片清洗腐蝕設備 型號：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業—CGB。德國進口磁白PP板經雕刻后熱彎/焊接組合加工。該設備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕。⑴超聲清洗，加熱清洗為單槽定時控制，到時給予結束提示音。⑵工藝過程：上料→支離子水超聲清洗→去離子水加熱清洗→去離子水沖洗→ 下 料2．結構特點：本設備為柜體式，操作面帶有透明門窗。⑴槽體材料為德國進口聚丙烯（磁白色PP板），焊口采用SS外包5mm厚德國磁白色PP板，外型美觀實用。⑵設備超聲，加熱清洗時間由定時器控制。⑶加熱槽裝有溫控表（pompon）和傳感器。⑷每個清洗槽互不影響，超聲、沖洗清洗槽的上給水（沖洗清洗槽配有熱水）、下排水為手動方式。⑸配有可調節式的排風裝置。⑹配有美國進口氮氣槍。 ⑺電控部分采用密封保護方式配有緊急停機及報警裝置。