欣源科技(北京)有限公司

      主營:微波發(fā)生器微波電源 2.45GHz 915MHz
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      [供應(yīng)]薄膜壓電激光干涉儀
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      • 產(chǎn)品產(chǎn)地:北京市海淀區(qū)信息路甲28號(hào)D座06A-6331
      • 產(chǎn)品品牌:欣源科技(北京)
      • 包裝規(guī)格:無
      • 產(chǎn)品數(shù)量:9999
      • 計(jì)量單位:套
      • 產(chǎn)品單價(jià):2000000
      • 更新日期:2020-05-02 17:26:10
      • 有效期至:2021-05-02
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      薄膜壓電激光干涉儀 詳細(xì)信息

      雙光束激光干涉儀aixDBLI
      (DoubleBeamLaserInterferometer)
      雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。
      這是世界上第一臺(tái)適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
      半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測試。
      大量樣品測試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。
      測試功能:
      機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號(hào)介電常數(shù)。
      疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。
      樣品測試:
      極化曲線和位移曲線。
      小信號(hào)電容及壓電系數(shù)。
      技術(shù)參數(shù):
      分辨率:≤1pm(X晶向的石英)
      測量范圍:5pm- /-25nm
      波長:632.8nm
      位移/應(yīng)力測試:&gt50Hz,欣源科技(北京)有限公司,欣源科技(北京),最小1Hz分辨率,100mV到10V(可選到200V)
      壓電d33系數(shù):
       基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),.欣源科技(北京)|||薄膜壓電激光干涉儀
      ,可選到200V
       小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)
      C-V測試:
       基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
      小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)
      欣源科技SYNERCE獨(dú)家代理德國aixACCT公司的鐵電壓電熱釋電系列產(chǎn)亠品,包括:鐵電分析儀(鐵電測試儀、TF2000E、TFAnalyzer2000E/3000、極化測量儀)/壓電分析儀(壓電測試儀)/熱釋電分析儀(熱釋電測試儀扌),.欣源科技(北京)|||薄膜壓電激光干涉儀
      ,壓電材料綜合表征系統(tǒng)aixPES、多鐵材料磁電磁阻測試儀aixPES-MR、高低溫塊體壓電分析儀aixPES-600/800、電卡效應(yīng)測試儀ECM、熱激發(fā)極化電流測試儀TSDC、超薄薄膜壓電雙光束激光干涉儀aixDBLI、陶瓷多層執(zhí)行器測試儀(aixCMA、陶瓷多層驅(qū)動(dòng)器測試儀、陶瓷多層電容器測試儀),機(jī)電薄膜e31測試儀aix4PB、阻變式存儲(chǔ)器測試儀RRAM、鐵電遲豫電流測試儀aixPES-RX、鐵電自放電測試儀aixPES-DR、鐵電隨機(jī)存儲(chǔ)器測試儀FeRAM、熱電性能測試儀COMTESSE(塞貝克系數(shù)測試儀)等。

      .欣源科技(北京)|||薄膜壓電激光干涉儀

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