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圖為標準質量流量控制器型號3660系列，質量流量控制器設計精密，成本較低。廣泛用于不同的領域，從實驗室和研究開發項目到各種分析儀器、真空裝置的標準采用機種，發揮了很好的實際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。
技術參數
F.S.量程(N2換算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
閥門種類 常閉電磁閥
控制范圍 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
應答性 設定±2%F.S.至2秒以內（標準）
精度 ±1.5%F.S.以內（±2%F.S.以內）
重復性 ±0.5%F.S.以內
壓力 耐壓 980kPa
操作 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
差壓 5
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