山東中煤工礦物資有限公司

束管真空抽氣設備干式真空泵
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干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面： 
  1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 
  2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒； 
  3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求； 
   4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 
   5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
二、分類：
干式真空泵主要有下列幾種形式：
干式螺桿真空泵
無油往復真空泵
爪式真空泵
無油渦旋真空泵
專業生產研發工礦物資集團公司，并與相關科研機構聯合開發生產出了多種自動化程度高、靈敏度強、操作簡便靈活的礦用安全設備。現擁有束管監測系統生產線、礦用阻化泵車間、煤礦專用束管廠、色譜儀研發中心等部門。愿我們以真誠服務，期待與您的合作。
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