蘇州安普生潔凈室設備有限公司

石墨舟裝片房

石墨舟裝片房是用于太陽能行業與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過濾器，確保吹出的空氣達到凈化要求。

工作原理：

　　空氣通過高效過濾后，阻尼層均壓，使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區，從而保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。

主要特點：

　　1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位；

　　2、采用不銹鋼制造，整機結構堅固可靠；

　　3、采用GK系列高效空氣過濾器3只；

　　4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度；

　　5、凈化風機噪音小于50dB。

6、保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度100級。