東莞迪川儀器儀表有限公司

廣州迪川儀器儀表有限公司   電話18318183303

產(chǎn)品簡介：
FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點：
  - 傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳
  - 感器的高精度計量
  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高
  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高精確度和優(yōu)良的重復性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間快
主要參數(shù)：

性能參數(shù)

FS4001

單位

通 徑

1.0

1.8

mm

最大流量

30， 100， 200

500， 1000

SLPM

量程比

2132132132131231312100:1

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重復性

0.25

%讀數(shù)

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應時間

4， 8， 16， 33 ， 65 ， 131

mses

工作電源

8~18Vdc，50mA

輸出方式

線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

最大流量壓損

350

300

pa

最大工作壓力

0.5

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