蘇州晟宇氣體設備有限公司

真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置氮氣純化方法有二種：

    真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置一種是直接脫氧法，即采用錳系脫氧劑的特性，加氫激活完成后，在它具備活性金屬特性時，真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置與氮氣中的氧氣進行深度反應，吸收掉氮氣中的氧氣。并利用分子篩吸收水份和二氧化碳，而這種純化方法，可以脫除氮氣中（除氬氣外的）的氧、水和二氧化碳，但是這種純度的氬氣也能滿足部分的工業生產的需求。此法常溫吸附，再生時加熱加微量氫氣激活使用，優勢：脫氧深度深，長時間使用無需更換耗材，能耗低，此法適用于工業惰性氣體保護氣或大范圍用氣，比如單晶硅拉晶工藝等，劣勢：禁止用氫場所不推薦，氫氣使用及儲存注意用氣安全，

        另外一種氮氣純化方法，將純度99.%氮氣經設備進口閥門進入催化塔，碳脫氧劑在250-320℃作用下，氮氣中的氧和載有活性組分碳炭，在活性組分的催化作用下，定向轉化為二氧化碳。經冷卻過濾后進入吸附干燥器進行深度脫水和脫除二氧化碳，此時就獲得了較高純度的氮氣。

  碳脫氧劑是一種既不要配氫，也無需用氫氣還原再生的燒蝕型惰性氣體脫氧劑，脫氧后的氣體殘氧量小于1ppm。與常用的脫氧劑相比具有以下優點：脫氧過程中無氫源，使用安全可靠；脫氧容量大，操作簡單，成本低，該脫氧劑用于機械零件和特種鋼的光亮熱處理以及無線電元件、半導體器件、化工、光導纖維、紡織、特種耐火材料的生產中，用來制作保護性氣體。操作穩定可靠，凈化后氣體中的氧和一氧化碳的含量均達到技術指標要求。優勢：對氮氣純度不高，原氣大于99%純度就可以滿足，劣勢：脫氧深度略低，使用時有能耗，耗材需定期更換，需加大干燥塔和干燥劑的使用量，才能滿足工藝需要

真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置  作為新材料或其他惰性保護性氣體，我們推薦使用直接脫氧法（以純氣中殘留氧，水，總碳，粉塵顆粒為考核指標）

  真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置本裝置優點：

1，設備操作形式全自動程序控制，人性化設置一鍵式手動再生按鈕，可視純氣質量控制再生時間，避免無謂再生，杜絕浪費

2，本設備全新技改，采用內置加熱模式，棄舍了原有設備臃腫的外形及大能耗，使其更節能，外形精巧，與同類產品對比，節能50%以上，更具經濟性

3，采用新型工藝  采用錳系脫氧劑常溫工作，使其成品氣質量更優。耗材利用率明顯提高，使其更換時間延至8年左右，減少支出，節能減負

4，本裝置具有原位再生功能，取微量純氣成品氣配以高純氫氣再生，無需任何外接氣源或輔助氣源

5，設備在出廠前已完成活化工藝，長時間運行無需檢修，在電，氣，水正常狀態下，設備全智能化程序運行，無需值守，

6，智能化：系統運行時間，故障報警，異常報警，運行軌跡等數據采集集成顯示于面板觸摸屏，氣體純度分析儀嵌入式安裝于設備正面，直觀，安全，PLC具備485信號源或模擬信號輸出，聯機可完成遠程控制

7，控制閥門選自德國寶德，1000萬次的開啟壽命，無限使用零維護

8，汽化器后設置雙回路減壓系統，工作壓力始終如一，安全穩定

真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置自動氮氣純化設備概述

真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置本方案按用戶提供參數定制：

  1、組成簡介

  純化設備工藝由高效脫氧劑、進口分子篩、精密過濾器、再生冷卻器、汽水分離器等組成。

  設備運行由PLC控制電磁閥、氣動閥、變送器等低壓電器運行。所有電器均選用知名品牌，并加有出口低壓旁路報警，保證供氣點無間斷工作。

2，工作原理簡介

      原料普通氮氣由設備工作進口閥、流量計進入設備工作組，工作組利用高效脫氧劑、分子篩、精密過、濾器對原料氬氣中的微量氧、水汽、塵埃、二氧化碳、甲烷、等雜質進行反應、吸附、過濾達到純化氬氣的目的。設備設有兩組工作組，一用一備。當一組工作負荷飽和后切換到另一組工作，處理飽和一組的工作組。這樣就可以連續的輸出純凈的氣體供工作點使用。

真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置

再生簡介

設備工作脫氧塔與干燥吸附塔所裝耗材不是短暫的消耗品（吸附飽和后程序自動或手動切換再生，可以反復激活再生一千次以上），所以設備工作方式采用復流程，由兩組工作組組成。當一組工作組填裝料吸附飽和，裝填料已經無法對原料氮氣進行提純時，就需要對它進行處理，我們把這個處理的過程稱做再生。再生過程是在對工作組加溫、吹掃、加氫、冷卻、保壓的過程，并且是在常壓下完成的。由于工作點是不間斷的使用高純氬氣，所以在設備再生的時候切換至另一組工作組工作。此過程可以自動或在手動切換

真空爐氮氣純化器半導體氮氣純化機全自動氮氣回收純化裝置主要技術指標  

1．  處理氣量                                              ≥300Nm3/h                  

2．  工作壓力                                  &n