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多晶硅凈化—找海博爾 多晶硅凈化工程，海博爾頂專業！ 多晶硅凈化廠房 多晶硅潔凈廠房 多晶硅凈化工程 多晶硅潔凈車間 硅料酸洗車間需用硝酸和氫氟酸對多晶硅進行清洗，共分為4部分，分別為手動生產線、自動生產線、半自動生產線和半成品處理線，前三條生產線用硝酸和氫氟酸的混合溶液對多晶硅進行酸洗，去除表面雜質。化學反應式為： 2HNO3+Si=SiO2+NO2↑+NO↑+H2O SiO2+4HF=SiF4↑+2H2O 由以上反應式得出，多晶硅酸洗廢氣主要為NOX和SiF4，由于反應非常劇烈，氣體中還含有大量硝酸霧和氫氟酸霧。廢氣揮發呈爆發性，尤其是NOX，濃度非常高，平均濃度為1000~2000mg/m3，瞬時濃度可達5000~6000mg/m3，氣體呈棕紅色。 前三條生產線每天試劑總的用量： 硝酸（HNO3）：濃度65%——68% 平均每天用量7525kg； 氫氟酸（HF）：濃度48%——50% 平均每天用量941kg； 由于用酸量非常大，產生的廢氣總量也非常大，以上氣體如不經凈化或凈化不達標將嚴重污染環境。 半成品生產線主要產生硫酸霧、HF和堿性廢氣，濃度較低。 二、凈化要求 凈化后廢氣排放應滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）二級標準要求，即： 平均濃度：氟化物≤9.0mg/m3，NOX≤240mg/m3； 排放總量（20米）：氟化物≤0.17kg/h， NOX≤1.3kg/h。