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俄歇效應:可以檢測一些異物或者雜質等成分分析，一般是只無機化學成分分析檢測，樣品只需要有0.5微米厚就可以了，很小的一點就可以了！如果異物或者雜質是有機化合物的話，需要用顯微紅外來檢測。下面是俄歇也就是AES的測試方法！
俄歇效應是原子發射的一個電子導致另一個或多個電子（俄歇電子）被發射出來而非輻射X射線（不能用光電效應解釋），使原子、分子成為高階離子的物理現象，是伴隨一個電子能量降低的同時，另一個（或多個）電子能量增高的躍遷過程。以法國人Pierre Victor Auger的名字命名。   當X射線或γ射線輻射到物體上時，由于光子能量很高，能穿入物體，使原子內殼層上的束縛電子發射出來。當一個處于內層電子被移除后，在內殼層上出現空位，而原子外殼層上高能級的電子可能躍遷到這空位上，同時釋放能量。一定的內原子殼空位可以引起一個或多個俄歇電子躍遷。躍遷時釋放的能量將以輻射的形式向外發射。通常能量以發射光子的形式釋放，但也可以通過發射原子中的一個電子來釋放，被發射的電子叫做俄歇電子。被發射時，俄歇電子的動能等于第一次電子躍遷的能量與俄歇電子的離子能之間的能差。這些能級的大小取決于原子類型和原子所處的化學環境。 
  俄歇電子譜，是用X射線或高能電子束來產生俄歇電子，測量其強度和能量的關系而得到的譜線。其結果可以用來識別原子及其原子周圍的環境。   俄歇復合是半導體中一個類似的俄歇現象：一個電子和空穴（電子空穴對）可以復合并通過在能帶內發射電子來釋放能量，從而增加能帶的能量。其逆效應稱作碰撞電離。