上海兆茗光電科技有限公司

MKS氣體分析儀

          上海兆茗光電科技有限公司優(yōu)價(jià)銷售美國MKS射頻  /直流  /微波電源發(fā)生器、MKS氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器、MKS真空產(chǎn)品、MKS氣體分析儀、MKS測量，  控制儀

        美國MKS  是全球最著名的先進(jìn)生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一，  其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件生產(chǎn)，  平板顯示器，  光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì)，  玻璃鍍膜，  光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。  MKS  前瞻性的創(chuàng)新開發(fā)，  推動(dòng)其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。  MKS  的電源，  測量，  控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)，改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率，  提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。  MKS  產(chǎn)品起源于我們的壓力測量和控制核心技術(shù)，  延伸到材料遞送，  氣體和薄膜成分分析，  靜電荷控制，  工藝控制，  信息管理，  電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。 

          MKS成立于  1961  年，總部位于美國東部波士頓以北的  Wilmington。  近三千名員工工作在全球各地十三個(gè)分公司，  七個(gè)研究中心，  十個(gè)生產(chǎn)基地  (其中中國深圳的  ENI電源工廠擁有近  500員工)  及  140  多個(gè)銷售辦事處和  30  多個(gè)技術(shù)服務(wù)中心。  公司在納斯達(dá)克上市，股票代碼：  MKSI。 

          MKS  擁有完整的技術(shù)及產(chǎn)品資源，  無論是產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計(jì)，  生產(chǎn)管理還是客戶支持服務(wù)，  都能快速滿足客戶的各種特殊需求。  MKS主要提供有：氣體壓力及流量測量和控制，  射頻  /直流  /微波電源發(fā)生器及測量工具，  氟離子  /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器，  真空產(chǎn)品，  氣體分析儀，  靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。 

流量測量、控制和驗(yàn)證  Flow  Measurement，  Control  &  Verification

G系列通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器

通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus）通訊接口可選。

·  GE50A  橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從10  sccm  –  50  slm。

·  GM50A  金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從10  sccm  –  50  slm。

·  GV50A  帶截止閥的橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從10  sccm  –  50  slm。

壓力/真空測量 

Baratron?直接壓力/真空電容壓力計(jì) 

HPS?真空傳感器，儀表，傳感器和控制器 

MKS是全球領(lǐng)先的壓力和真空測量。  MKS的家庭壓力和真空測量儀器包括的Baratron?電容壓力表，壓力傳感器，壓力開關(guān)，壓力控制子系統(tǒng)，真空和壓力表，真空及壓力傳感器和真空及壓力表控制器。

控制系統(tǒng)  Control  Systems

智能自動(dòng)化方案

·  cLogic  供集散控制邏輯的自動(dòng)化方案

·  可編程互鎖軟件

·  SenseLink?QM  在線質(zhì)量檢測

·  Recipe引擎

子系統(tǒng)與可編程自動(dòng)控制器

·  RMU帶緊湊網(wǎng)絡(luò)I/O的遠(yuǎn)程檢測單元。

·  ECM  EtherNet控制模塊。

·  ECM2  EtherNet控制模塊和平臺(tái)

輸入/輸出口和集散控制

·  MacroNode?  緊湊型網(wǎng)絡(luò)輸入/輸出模塊

·  MicroNode?  以太網(wǎng)輸入/輸出系統(tǒng)

·  MultiTherm  1000  EtherCAT?通訊溫度控制器

·  AS01391  DeviceNet?數(shù)字型輸入/輸出VME板卡

·  AS01396  DeviceNet?數(shù)字型輸入/輸出VME板卡

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