100度/200度/300度可設(shè)定class10級晶圓片烘烤無塵烘箱

一、雙層無塵烘箱產(chǎn)品概述:

本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技術(shù)條件及國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

二、雙層無塵烘箱主要技術(shù)指標(biāo)：

2.1產(chǎn)品型號：COL-2D(雙箱)

2.2無塵等級：Class  10

2.3溫度范圍：  +60～  +300℃；

2.4升溫速度：常溫～+200℃，升溫速度> 6℃/min    ，降溫速度  3℃/min(適用于150℃～80℃)

2.5溫度均勻度：±2.5℃ （空載）

2.6溫度精確度：±1℃（空載）

2.7工作室尺寸：W700×H500×D600

2.8電        源：380v  ，  50Hz

2.9環(huán)境條件：溫度  5～40℃；濕度  ≤85%R.H

2.10氣壓：86～106Kpa

三、雙層無塵烘箱箱體結(jié)構(gòu)：

3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵；

3.3箱體材料：SUS304#不銹鋼板； 

3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生  PARTICLE； 

3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3.6  保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品，100K級高密度高保溫板制造。 

3.7電熱器：采進(jìn)口覆套式電熱器  (SHEATHED  HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。

3.8潔凈度：烤箱內(nèi)部均采無塵化配件及材料。

雙層無塵烤箱熱線：021-37693997，15221744475  傳真:021-37832075聯(lián)系人：蔣鑫，

網(wǎng)站：www.done-e.com.