北京華林嘉業科技有限公司

硅片腐蝕機 型號：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業—CGB⑴整機采用德國進口磁白色PP板焊接而成，本機每槽可同時清洗2個花籃。本設備外型美觀，耐酸性能好，操作方便，運行可靠，是半導體生產線理想的硅片清洗設備。該設備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕。 ⑵本設備由機架部分、整機部分、槽體部分、伺服系統、及機械傳動部分、電氣控制系統構成。⑶工藝過程全自動，機械手在槽間轉換靠PLC來控制，美國進口導軌和機械手來滿足工藝時序。⑷除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均由機械手來實現，適用于連續批量生產。⑸機臺內設高效過濾器，滿足凈化工作區工作（1000級~100級，10級為特級）。⑹人機界面為觸摸屏，有安全保護故障代碼，故障報警，工藝時序號，方便操作、易于維護。有需求此方面設備的朋友，歡迎來電咨詢