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SpecEI橢偏儀

SpecEI-2000-VIS橢偏儀用波長功能測量從基底表面反射的極化光用來確定厚度和折射材料指數。SpecEl可以用PC機控制。一鍵測量折射指數，吸光率和厚度。

一體化精密系統

SpecEl有完整的光源，一個光譜儀和兩個固定到70°的偏光鏡。里面甚至包括一個32-bit Windows操作系統的PC機。SpecEl可以探測一個圖層薄到0.1nm厚到5μm。另外，它可以提供折射指數到0.005°

SpecEl軟件和配備文件

在SpecEl軟件里，你可以改裝和保存實驗方法的文件以做一步分析，然后生成一個配方，你可以選擇配方去做實驗。


屏幕顯示的是SpecEl軟件示范Psi和Delta價值，你可以用來計算膜厚度，折射率和吸光率。

規格

波段范圍
 380-780nm（標準）或者450-900nm（任選的）
 
光學分辨率
 4.0nm FWHM
 
精確度
 厚度0.1nm；折射率0.005%
 
入射角
 70°
 
薄膜厚度
 1-5000nm單個透明薄膜
 
斑點尺寸
 2mm×4mm（標準）或者200μm×400μm（任選）
 
取樣時間
 3-15s（最小）
 
動態測井
 3s
 
機械公差（高度）
 +/-1.5mm，角度 +/-1.0°
 
涂層數
 最大到32層
 
參考資料
 無可用的
 
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