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下面就其維修保養中注意的事項，簡單加以陳列。

1.平時  ，整個系統要保持真空狀態，工作前才充入氣體，不要是真空室長期暴露在大氣中；

2.經常檢查膠封是否良好，特別是動密封圈，定期給動密封處加上真空脂

3.定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元、器件；

4.在真空狀態下不得拆卸擴散泵和閥門。拆卸的方法是：先將整個真空系統抽至真空狀態，注意不要加熱擴散泵，用手動打開精抽閥，然后按放氣閥按鈕讓系統充入大氣，當真空室充滿大氣后就可進行拆卸擴散泵和閥門；

5.停旋片泵、滑閥泵時，要注意電磁閥（或氣動閥）是否向泵腔充氣，否則會引起回油，污染真空管道。因此，電磁閥（或氣動閥）充氣動作失靈時，必須及時進行修理或更換；

6.對于偏北地區，在寒冷季節，夜間和教長時間停機時，必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體，以免凍裂冷卻水管（套）、泵體；

7.精抽系統要待真空壓強達到3Pa后才能工作，若在過高的壓強下進行抽氣，會使擴散泵油氧化，降低抽氣能力，縮短泵油的使用壽命；

8.為保證真空鍍膜設備有清潔的工作環境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的有霧。若不把它排出工作房，則在裝被鍍的工件時，盡管工件表面經過認真的清潔處理，仍然很快就會被微小的油霧所污染，嚴重影響膜層的質量；

9.在工作過程中不得斷水，采用的冷卻水必須清潔，不得使用硬水或濁水作為冷卻水，否則會使冷卻水管沉積一層水垢，影響冷卻效果。

10.在工件架旋轉時500MM內嚴禁站人，待停止后方可靠近！！！

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