雙光束激光干涉儀aixDBLI
(DoubleBeamLaserInterferometer)
雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。
這是世界上第一臺(tái)適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。
大量樣品測(cè)試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。
測(cè)試功能：
機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號(hào)介電常數(shù)。
疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。
樣品測(cè)試：
極化曲線和位移曲線。
小信號(hào)電容及壓電系數(shù)。
技術(shù)參數(shù)：
分辨率：≤1pm（X晶向的石英）
測(cè)量范圍：5pm- /-25nm
波長(zhǎng)：632.8nm
位移/應(yīng)力測(cè)試：&gt50Hz，最小1Hz分辨率，欣源科技（北京）有限公司，欣源科技（北京），100mV到10V（可選到200V）
壓電d33系數(shù)：
 基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
 小信號(hào)100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測(cè)試：
 基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz冂），MEMS晶圓激光干涉儀
，可選到200V
小信號(hào)100mV到10V（1kHz到5kHz）
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