現代三坐標測量儀系統打破了傳統的測量模式，具有通用、靈活、高效等特點，可以通過計算機控制完成各種復雜零件的測量，符合機械制造業中柔性自動化發展的需要，能夠滿足現代生產對測量技術提出的高精度、高效率要求。測球半徑補償誤差：
(1)測針的選擇
　　正確選擇和使用測頭是影響坐標測量機的測量精度的重要因素。測針安裝在測頭上，是測量系統中直接接觸工件的部分，它與測頭的通訊式連接渠道稱作觸發信號。
(2)測球半徑補償誤差
　　當測針接觸到工件時，三坐標測量機接收的的坐標值應是紅寶石球頭中心點坐標，顯然，測量軟件將自動沿著測針從接觸點回退的方向加上一個測球半徑值作為測量值。實際上，測量作為一個動態過程，其測量值應該考慮到從測頭采點到實際向系統傳送該點坐標值時發生的機器空間移動距離。
　　在實際測量時，每測量一個元素，系統都可以自動區分測球半徑的補償方向，計算正確的補償半徑。在采點開始后，測量軟件將在沿著測針接觸工件的方向上對測球進行半徑補償。但被補償點并非真正的接觸點，而是測頭沿著測針接觸工件方向的延長線上的一個點。這樣就造成了補償誤差。
　　在用三坐標測量機測量點元素時，測量儀器軟件在自動補償測球半徑過程中會出現測球半徑補償誤差。通過運用三次元坐標系找正工件或用CNC模式進行測量，使測頭沿著被測表面的法線方向移動采集點的坐標，可以盡量減小測球半徑補償誤差，正確進行測球半徑補償，提高測量精度。

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