微型自調(diào)焦激光傳感器適用替代現(xiàn)有傳統(tǒng)的位移和粗糙度測頭。它可以進行快速非接觸式表面輪廓和粗糙度測量以及精密位移的測量。
激光測量光束借助于一個物鏡聚焦于物體表面。由于物鏡的位置是被連續(xù)調(diào)整的，因而激光束的焦點總是與物體表面重合。
表面輪廓和局域光的反射是被同時測量的。因而，本組件可測定各種邊緣和各種材料。所有傳感器功能可以借助于儀器上配備的軟件宏進行控制。這些宏指令可以裝載于已有的軟件中。
AFS傳感器具有表面復(fù)現(xiàn)高度保真的特點。
作為一個選擇項，傳感器可配備微型照相機適配器，以便能夠?qū)Ρ砻嫫蔚挠^察直接進入鏡頭，使激光光束精密定位。采用特別開發(fā)、高度集成的BMT-IC，傳感器熱漂移極低。采用大數(shù)值孔徑物鏡，儀器無論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。 

主要用途：
具有高保真表面復(fù)現(xiàn)的表面粗糙度和輪廓的測量
精密位移測量
微機械零件的尺寸測量
冶金金相測量
振動測量
厚度測量
直線度, 平面度，弧度的測量 

主要特點：
非接觸式表面輪廓測量、反射性能的測量、垂直和橫向的尺寸測量 
唯一的通過透鏡觀測描繪被測物體表面特征的傳感器
微型化的傳感器
分辨率1nm
可達2000μm大的測量范圍
光斑直徑< 1μm
適用已確定的制造業(yè)的幾乎所有粗糙度測量體系
連續(xù)聚焦        

主要優(yōu)點：
在高保真輪廓復(fù)現(xiàn)下對3D結(jié)構(gòu)進行快速的非接觸式測量                 
測量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無關(guān)     
數(shù)據(jù)采集和評估可歸并到已有的軟件中 
具有可組裝性，可組裝到已有的系統(tǒng)中 
    

技術(shù)數(shù)據(jù)：  
型    號 AFS 1 傳感器 AFS 2傳感器 TFS傳感器
測量范圍祄 ± 500 / ± 50 ± 1000 / ± 100 ± 500 / ± 50
垂直分辨率 nm 1 1
工作距離 mm 2 2 13
激光班直徑（約）μm 0.5 0.5 1
最大測量頻率  kHz 20 20 20
最大視場傾角 20 20 15
激光波長 nm 635 635 635
激光等級 1 1 1
外形尺寸 mm 52 x 25 x 58 52 x 25 x 58 52 x 25 x 58
重量（約）g 100 100 100