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六氟化硫（SF6）在常態下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣態物質，化學性質穩定性強，具有良好的電氣絕緣性能及優異的滅弧性能。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，在0.25MPa下與油的擊穿電壓相等，中等壓力、同樣條件下電暈放電的起始電壓是空氣的2倍，是一種優于空氣和油的新一代超高壓絕緣介質材料，被廣泛用于電氣設備的斷路器、組合器、變壓器、大容量電纜、避雷器、X光機、離子加速器、示蹤分析和有色冶煉等方面。高純SF6在半導體工業中，用作等離子刻蝕劑。在光纖制備中用作生產摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗優質單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準分子激光器的滲加氣體。在環境檢測及其他部門用作標準氣或配制標準混合氣。