技術(shù)參數(shù)

量      程：0~100ppb，0-1/10/100ppm    可選0~50/500ppb，0-5/50ppm O2  自動(dòng)/手動(dòng)調(diào)節(jié)。

傳感器：Pico-lon 技術(shù)燃料電池—GPR-13-2000UHP。

準(zhǔn)確度：量程的1%（在常溫，常壓下）。

分辨率：量程的0.5%

傳感器壽命：18個(gè)月（在100ppm下）

線性度：R平方值> 0.995

校準(zhǔn)氣：建議采用80%FS O2 in N2標(biāo)準(zhǔn)氣.

響應(yīng)時(shí)間：60秒達(dá)到90%

回復(fù)時(shí)間：15分鐘從9ppm（1分鐘）到10ppb

30分鐘從1ppm（5分鐘）到1ppb

物理特征

封裝：臺(tái)式13.9" x  9.9" x  13.4"

可選：面板安裝，壁掛安裝，19”支架安裝

電器特征

認(rèn)    證：ISO9001，CE認(rèn)證。

顯    示：大屏幕LCD顯示，實(shí)時(shí)顯示樣氣壓力和溫度。

控制鍵：帶有四個(gè)防水按鍵，可方便地選擇量程、校準(zhǔn)、報(bào)警和系統(tǒng)設(shè)置功能。

智能性：量程自動(dòng)切換功能，數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)功能和圖形顯示，通過USB遠(yuǎn)端控制。

溫漂抑制：帶恒溫控制系統(tǒng)，并帶有自動(dòng)壓力和溫度補(bǔ)償功能。

輸    出：RS232或USB數(shù)字接口，0~1V或隔離的4~20mA模擬輸出，量程提示輸出

報(bào)    警：兩路繼電器報(bào)警輸出，電源失敗報(bào)警輸出，傳感器失敗報(bào)警輸出。

電    源：220 V AC@50Hz。

操作條件

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體行業(yè)

測量介質(zhì)：H--2、 He，、碳?xì)浠衔铩⒍栊詺怏w等

氣路接口：進(jìn)氣口采用1/4"VCR接頭，出氣口采用1/4”卡套接頭

壓力：20~50psig（最大150psig）

溫度：5~+45℃

流量：1~3 SCFH，推薦：2 SCFH(立方英尺/每小時(shí))