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高壓繼電器都是真空型的。惰性氣體電介質也用于高壓元件和系統中。通過改變氣體混合的比例和（或者）氣壓就可控制受壓外殼中的擊穿電壓，因而使用靈活。氣體加壓滅弧是它的另一個優點，因為通常在幾微秒的時間內就可以完成滅弧。充氣式繼電器用于高壓功率開關，其功能是關閉常開觸點。原因之一是氣體混合物和氣壓可以事先設定，在關閉觸點之前電弧放電。此外，如果電路電壓高于3500伏，即使由于觸點抖動使得電路切斷，電弧是仍然穩定，足以維持電流。這有助于延長充氣繼電器的使用壽命，有關這一點可在電容性放電電路里得到印證。 當切斷電路時電離作用是有害的。實際上，它延長了電弧并增強了觸點的腐蝕。試驗表明：真空繼電器更適用于功率切斷，因為它能抑制電弧（滅弧）。滅弧減小了腐蝕并延長了觸點壽命。傳統繼電器的接觸電阻是隨使用次數而變化的，但真空繼電器的接觸電阻是恒定的且阻值低，在整個使用壽命期間其典型值為0.015歐姆。這是因為使用標準的清潔部件，無氧化或污染，在觸點部位使用純金屬。由于觸點是密封在真空管內的，在易爆或腐蝕性的環境中可實現安全通斷操作。充氣式繼電器的接觸電阻一般也很低，
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