配有雙數字表: 一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。
數字電壓表量程:0—199.99mV
靈敏度:10μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm
可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4 探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4 探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3 探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
流經硅料的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10 萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數,提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
加配軟件配電腦使用,實現自動換向測量、求平均值,計算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內容。
四探針頭采用國際上先進的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高(國家知識產權局已于2005.02.02 授予專利權,專利號:ZL03274755.1)。