首先，真空熱處理可以實(shí)現(xiàn)不氧化、不脫碳、不增碳，對(duì)工件內(nèi)部和表面有良好的保護(hù)作用。
氧化會(huì)使金屬表面失去光澤，粗糙度增加，精度下降，鋼件的強(qiáng)度以及力學(xué)性能也會(huì)降低。脫碳也就是鋼在加熱時(shí)表面碳含量降低的現(xiàn)象。一般情況下，鋼的氧化伴隨著脫碳，碳含量降低會(huì)明顯降低鋼的淬火硬度、耐磨性、及疲勞性能。而真空熱處理由于金屬是在一定的真空度下加熱，工件避免了與氧氣接觸，工件沒(méi)有氧化，無(wú)脫碳，可以得到光亮的表面及較好的熱處理質(zhì)量，同時(shí)在真空狀態(tài)下，也不會(huì)發(fā)生還原反應(yīng)，也就不會(huì)發(fā)生增碳現(xiàn)象。
其次，真空熱處理具有脫氣的作用，可以提高金屬等材料的機(jī)械性能、凈化表面。
金屬坯料在冶煉時(shí)會(huì)吸入空氣中極少量的氫氣、氮?dú)狻⒁谎趸嫉葰怏w，從而產(chǎn)生微小氣孔，易造成氫脆等缺陷。硬質(zhì)合金，在壓制時(shí)也會(huì)有空氣進(jìn)入。在真空熱處理中，真空狀態(tài)對(duì)液態(tài)金屬有明顯的除氣效果，對(duì)固態(tài)金屬中溶解的氣體也有很好的排除作用，從而消除氫脆等缺陷，提高材料的塑性、韌性和疲勞強(qiáng)度，提高工件的整體機(jī)械性能。同時(shí)真空中氧化物會(huì)發(fā)生分解，形成的游離氧立即排出真空室，可以使金屬表面質(zhì)量進(jìn)一步改善，起到凈化作用。
第三，真空熱處理后的工件變形小。一般來(lái)說(shuō)，被處理的工件在爐內(nèi)靠熱輻射加熱，內(nèi)外溫差較小，熱應(yīng)力小，因而決定了真空熱處理工藝處理的工件變形小。同時(shí)在真空下加熱和在真空下淬火，自動(dòng)完成，避免了熱態(tài)下工件在空氣中的搬運(yùn)，減少了人為加工變形。這樣就大大減少了后期的機(jī)加工量。
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